2007 did not include the areas of regions 11 and 12. Excludes maritime waters
| 2010 | 2011 | 2012 | |
|---|---|---|---|
| Magallanes y la Antártica Chilena | 1 382 291,1 | 1 382 291,1 | 1 382 291,1 |
| Antofagasta | 126 049,1 | 126 049,1 | 126 049,1 |
| Aysén del General Carlos Ibáñez del Campo | 108 494,4 | 108 494,4 | 108 494,4 |
| Atacama | 75 176,2 | 75 176,2 | 75 176,2 |
| Los Lagos | 48 583,6 | 48 583,6 | 48 583,6 |
| Tarapacá | 42 225,8 | 42 225,8 | 42 225,8 |
| Coquimbo | 40 579,9 | 40 579,9 | 40 579,9 |
| Bío Bío | 37 068,7 | 37 068,7 | 37 068,7 |
| La Araucanía | 31 842,3 | 31 842,3 | 31 842,3 |
| Maule | 30 296,1 | 30 296,1 | 30 296,1 |
| Los Ríos | 18 429,5 | 18 429,5 | 18 429,5 |
| Arica y Parinacota | 16 873,3 | 16 873,3 | 16 873,3 |
| Valparaíso | 16 396,1 | 16 396,1 | 16 396,1 |
| Libertador General Bernardo O'Higgins | 16 387,0 | 16 387,0 | 16 387,0 |
| Metropolitana de Santiago | 15 403,2 | 15 403,2 | 15 403,2 |